等离子废气处理设备为减少化工厂、或其它工业中产生的废气及对环境的影响，设备将废气密封、收集处理。
废气分子先经过波段紫外光波破碎分子，打断其分子链；同时，通过分解空气中的氧和水，臭氧，臭氧进一步吸收能量，形成氧化性能的自由羟基，氧化废气分子。同时根据不同的废气成分配置多种复合惰性催化剂，提高废气处理的速度和效率，从而达到对废气进行净化的目的。
一、废气处理装置经试运转后，应将调节阀门固定或作出标志，不应随意改动。若一个处理系统连接几个排气点时，在某一排气点的工艺设备停止运转时，该排气罩也不宜关闭，以免改变其他排气覃的排风量。
二、一般废气处理装置应在工艺设备启动之前启动，在工艺设备停止运行数分钟之后再关闭，以防废气未处理扩散到大气中。
三、日常维护的主要任务是观察设备、管道、排气罩;清扫孔、观察孔等处的漏风、调节好系统的供液量、风量和风压，排除可能产生故障的隐患。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以也称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
如果低温等离子出现打火现象，处理效率更会急剧下降的。因此，通道上布满密集的放电点，低温等离子设备在不拉弧以及不打火的情况下，才能够承受并达到足够的处理功率，才能有足够的能量打开的废气分子键。
